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メカニカルハンド VMACH-30
Mechanical Hand

特許:2006−226863号

 

PDFを表示トランスファーロッドの回転力だけで
試料のキャッチ&リリースが可能

特徴

  • メカニカルハンド
    トランスファーロッド装着例

    トランスファーロッド装着例

    トランスファーロッドの回転力(1軸)だけで試料のキャッチ(掴む)とリリース(放す)を実現。
  • 試料を前方へ押し出す機構で確実に放す事が可能。(基板冷却・加熱時の試料貼り付き防止)
  • 軽量・高トルク・コンパクト(開口時:最大Φ20)
  • 試料形状に合わせてハンド先端の形状を変更可能。
  • 試料への熱伝導が少なく、アウトガスが少ない。
  • メンテナンスフリー。
  • アダプタによりいかなるトランスファロッドにも装着可能。


本機構を使用することで試料台の加工が少なくて済むので試料台の製作コストの削減に貢献します。 また、加工の難しい材料を使用する事ができます。 更に試料台の小型化が可能です。

用途

・ 放射光(ビームライン)への試料挿入
・ 超高真空チャンバとの試料の受け渡し
・ 各種実験装置への組み込み

 

キャッチ&リリース

キャッチ&リリース写真

サンプルバンク

複数個のサンプルをストックし、 トランスファロッドに取り付け、 チャンバ間を搬送可能。サンプルの形状に合わせてバンクを設計・製作致します。

サンプルバンクサンプルバンク

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