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真空装置の改造例 

例1: 蒸着装置を2インチ3元スパッタに改造

  • 上フランジにスパッタガン及び2インチランプ加熱機構を設置
  •  
 

改造前

改造後

 

改造前

改造後

例2: ガラスベルジャーの蒸着装置をステンレスチャンバに改造

  • ガラスベルジャーを変更しステンレスでチャンバを製作
  • ロードロックやグローブボックスを追加し,有機材料を大気曝露せず導入が可能
  • サンプル及び蒸着の観測が可能なビューポートを具備

 

 

改造前

改造後

 

改造後

改造後

 

(トランスファーロッドとロードロック)

(グローブボックス)

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