真空機器・除振・防振の課題解決が我々の使命です!

サイトマップ
    製品情報 > 真空機器・超高真空容器 > 超高真空用各種装置部品

超高真空用各種装置部品

アングルバルブ VAVB シリーズ

回転導入器

型   式 種類 規格 仕様 O.D. A B C D
VAVB-ICF34-M 手動 ICF34 使用圧力:大気圧〜 1×10-7Pa
リーク量 : <2×10-10Pa・m3/s
寿命回数 : 50万回
※ ICF114 タイプのみ 25万回
ベークアウト温度:150℃
ボディ材質:SUS304
ボンネットシール : バイトン
19.05 38 120.7 139.5 57.15
VAVB-ICF70-M ICF70 38.1 63 170.8 201.8 76.2
VAVB-ICF114-M ICF114 63.5 105 241 308.5 101.6
VAVB-KF16-M NW16 19.05 40 112.7 141.5 57.15
VAVB-KF25-M NW25 25.4 50 128.4 147.2 57.15
VAVB-KF40-M NW40 38.1 65 167.5 198.5 76.2
VAVBS-ICF34-P 圧空
センサー付
ICF34 使用圧力 : 大気圧〜 1×10-7Pa
リーク量 : <2×10-10Pa・m3/s
寿命回数 : 50万回
操作圧力 : 0.4〜0.6MPa
ボディ材質 : SUS304
ノーマルクローズ
センサー : DC/AC4〜240V/
5〜40mA
電磁弁(オプション):
DC24V, AC24V, AC110V, AC220V
19.05 38 155.6 57.15  
VAVBS-ICF70-P ICF70 38.1 63 212 76.2  
VAVBS-KF16-P NW16 19.05 40 158 57.15  
VAVBS-KF25-P NW25 25.4 50 164.3 57.15  
VAVBS-KF40-P NW40 38.1 65 214 76.2  

高真空対応ゲートバルブ G シリーズ

回転導入器● 低音、低振動
● 高品質、多種ラインナップ、リーズナブルな価格
● 容易に取り付けられ、アフターメンテナンスも簡単

リーク量 本  体:1×10-10Pa・m3/sec
ゲート部:1×10-9Pa・m3/sec
許容加熱温度 本  体:250℃
ゲート部:150℃
アクチュエーター部:60℃
シール方法 メタルシール

 


g

型   式 ポートサイズ A B C D E F G H I J
ICF70G-P ICF70 38.5 103.5 109.5 251.5 69.5 92 30.5 52 50 27
ICF114G-P ICF114 52.5 142 133.5 328 99.5 132 43 64 64 32.5
ICF152G-P ICF152 74.5 223 160.5 458 140 184 61 64 82 40
ICF203G-P ICF203 99 305 190 594 190 230 68 77 82 42
ICF253G-P ICF253 121.5 389.5 227 738 239 279 76 94 82 42
ICF305G-P ICF305 149 489 273 911 294 334 95 124 89 48
ICF356G-P ICF356 188 590 277 1055 368 410 105 124 94 49.6

 

g

型   式 ポートサイズ A B C D E F G H I J
ICF70G-M ICF70 38.5 103.5 86 268.7 69.5 92 30.5 48 48 25.4
ICF114G-M ICF114 52.5 142 94 329.5 99.5 132 43 64 64 32.5
ICF152G-M ICF152 74.5 223 143 482 140 184 61 95 82 40
ICF203G-M ICF203 99 305 154.5 599.2 190 230 68 79 82 42
ICF253G-M ICF253 121.5 389.5 194.5 746.5 239 279 76 109 82 42
ICF305G-M ICF305 149 489 226.5 905.2 294 334 95 117 89 48

 


回転導入器 VRI シリーズ

回転導入器

型   式 VRI-34 VRI-34H VRI-70H
駆動方法 ベローズ式
システムフランジ ICF 34 ICF70
駆動軸径 φ6  φ 10
駆動タイプ 手動 手動・モーター駆動
伝導トルク 手動 5kgf・cm 15kgf・cm 30kgf・cm
モーター   10kgf・cm 20kgf・cm
回転数   200rpm
リーク量 1.3 × 10-11Pa・m3/sec 以下
許容加熱温度 300℃
重量 0.33kg 0.41kg 1.8kg

VRI-34

直線導入器 VSI シリーズ

直線導入器

 

型式 VSI-34-25 VSI-34-50 VSI-70-50 VSI-70-75 VRI-70-100
駆動方式 ベローズ式
フランジ ICF34 ICF70
移動距離 25mm 50mm 75mm 100mm
許容最大推力 35kg 45kg
リーク量 1.3×10-11Pa・m3/sec 以下
許容加熱温度 300℃

VSI-34-25

簡易XYZ ステージ ICF70XYZ

XYステージ

 

フランジ ICF70(タップ)
ストローク XY:±3mm  Z:6mm
真空シール方式 成形ベローズ

 

チャンバ・トランスファーロッドなどの導入機関に使用

xyz

トランスファーロッド VTFR シリーズ

トランスファーロッド

 

型式 VTFR-70-250 VTFR-70-500 VTFR-70-750 VTFR-70-1000
駆動伝達方式 磁気結合型
伝達力 直進4.5kg 回転7.5kgf・cm
移動距離 250mm 500mm 750mm 1000mm
稼働軸径 φ13.8(SUS)
フランジ ICF70

オプション:直進ストッパー・回転ストッパー

VTFR-70-250

真空用各種導入端子

真空用各種導入端子

● 一般電流導入端子 1A 〜 1000A
● 同軸端子 SMA・SMB・BNC・MHV・D-Sub 他
● 多軸プラグ付端子 3P 〜 4P
● 真空導入用熱電対 K・J・C・E・T・R/S
  熱電対を切断することなく、真空−大気を1本で通すことが可能

※ 各種フランジに溶接・ロー付け・メタライズを自社専用工場にて製作致します

 

※価格・寸法についてはお問い合わせください。

↑ページのトップへ