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TiNコーティング(チャンバ内面処理)

PDFを表示 チタンコーティング( TiNコーティング )により
極高真空および超高真空対応( チャンバ内面 )

特徴

  • 真空排気時間の短縮
  • チャンバ内のアウトガス低減
  • 2次電子の放出抑制効果
  • 極高真空・超高真空チャンバに対応


TiNコーティング(チャンバ内面処理)



TiNコーティングポート


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