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高真空対応ゲートバルブ
HV Gate Valve

PDFを表示高真空対応のベローズ軸シール、潤滑剤フリーの
メカニズムコンパクトな設計

特徴

  • 低振動、高品質、多種ラインナップ。
  • リーズナブルな価格、短納期。
  • 容易に取り付けられ、アフターメンテナンスも簡単。

高真空対応ゲートバルブ高真空対応ゲートバルブ

 

仕様

 

リーク量
 本体 2.7E−11Pa・m/sec(メタルシール)
2.7E−10Pa・m/sec(バイトンシール)
 ゲート部 1・3E−9 Pa・m/sec
 使用真空領域 大気圧〜 2.7E−11 Pa・m/sec
ベーキング温度
 本体 250℃
 ゲート 150℃
 アクチュエーター 150℃(センサー部60℃)
 取付方向 自由
材質
 本体 SUS304
 ゲート SUS304
 ボンネット SUS304
 シリンダー A6061
 ベローズ SUS304
シール
 ボンネットシール メタルorバイトン
 ゲートシール バイトン
 ピストンシール バイトン(圧空)
 
圧空 5kgf/cm
フィッティング Φ6mm

 

寸法

手 動

手動

ポートサイズ
NW40
ICF70
38.5
100.5
78.5
217.5
69.5
92
16
48
48
25.4
NW50
52.5
142
88
282.5
99.5
132
23
57
64
32.5
ISO63
ICF114
52.5
142
88
282.5
99.5
132
23
57
64
32.5
NW80
74.5
223
141
480
140
184
31
73
82
40
ISO100
ICF152
74.5
223
141
480
140
184
31
73
82
40
ISO160
ICF203
97
277
141
556.5
190
230
47
73
82
42
ISO200
ICF253
97
277
141
556.5
190
230
47
73
82
42
ISO250
ICF305
121.5
353.5
155
671.5
239
279
71.5
80
82
42
ICF356
150.5
438.5
175.8
806.3
290
330
83
95
89
48

 

圧 空

圧空

 

ポートサイズ
NW40
ICF70
38.5
100.5
99
238
69.5
92
16
45
48
25.4
NW50
52.5
142
122.5
317
99.5
132
23
52
64
32.5
ISO63
ICF114
52.5
142
122.5
317
99.5
132
23
52
64
32.5
NW80
74.5
223
166.5
464
140
184
31
64
82
40
ISO100
ICF152
74.5
223
166.5
464
140
184
31
64
82
40
ISO160
ICF203
97
277
172
546
190
230
47
77
82
42
ISO200
ICF253
97
277
172
546
190
230
47
77
82
42
ISO250
ICF305
121.5
353.5
195.5
670.5
239
279
71.5
98
82
42
ICF356
150.5
438.5
229
818
290
330
83
117
89
48

 

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