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Cat-CVD装置   
Catalytic Chemical Vaper Deposition Apparatus

PDFを表示 縦型CAT-CVD装置 : 太陽電池の製造を目的とした成膜装置
 

  • CAT-CVD装置外観 Cat-CVD法(触媒化学気相堆積法)による低温成膜
  • 原料ガス、触媒体線の組合せで多種多様な薄膜堆積
  • 原料ガスの分解効率が高く高速堆積が可能
  • 荷電粒子による堆積膜への損傷がない
  • 均一で緻密な薄膜が形成可能

 

用途

・アモルファスシリコン薄膜形成
・窒化シリコンパッシベーション薄膜形成
・Cat-doping リン(P)・ボロン(B)など
・PTFE撥水膜形成

 
 

プロセスチャンバ内部

プロセスチャンバ内部

   

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