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CVD装置納入実績   
CVD Equipment Sales Result

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  • オーダーメイド対応のLP-CVD、MO-CVD、プラズマCVD装置
  •  
  • 安全監視機能による事故防止
  • 高度な気密維持による高純度の薄膜堆積の実現
  •   
  • 自動運転による効率的な成膜作業が可能

 

 

CNT-CVD装置

Siナノワイヤ―作成装置

 

CNT-CVD装置

Siナノワイヤー作成装置

 

 

LP&常圧複合CVD装置

GaN-MOCVD装置

 

LP&常圧複合CVD装置

GaN薄膜MOCVD装置

 

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