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スパッタリング装置   
Sputtering Equipment

PDFを表示 マグネトロンスパッタ方式のスパッタリング装置
 

  • スパッタリング装置 マグネトロンスパッタ方式のガンは標準で2インチ、3インチをご用意、特注にも対応
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  • 多種多様なターゲットに安定した放電を実現する為、マグネットの種類の選択及び設計が可能
  • 基板加熱はランプ、シースより選択。サイズは最大3インチ、最高使用温度は800℃にも対応(特注)
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  • 自動運転による効率的な成膜作業が可能

 

   

3インチスパッタガン( 傾斜ベローズ )

3インチスパッタガン

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