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PLD装置   
Pulsed Laser Deposition Equipment

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  • PLD装置 2インチサイズの基板加熱はレーザー、ランプ、シースより選択可能
  • ロードロック機構により基板およびターゲットの交換が可能
  • 揺動機構によるターゲットの移動および自動運転が可能
  • オプション:レーザー、光学系、レーザーフード、その他

 

   

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