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ガラス泡内ガス分析装置( 残留ガス分析装置 )   
Gas Analysis Equipment for Blowhole in Glass

PDFを表示 ガラスに含まれる泡内の超微量残留ガス成分測定
各種材料評価に最適

  • ガラス泡内ガス分析装置 製造工程においてガラス内部に残留、残存してしまう気泡中ガスを真空中においてガラスを機械的に劈開して放出される成分を四重極質量分析器を用いて測定・分析
  • 最少容量5pLまで定性的、定量的に分析可能Arは1pL程度の検出感度で測定可能
  • 同時に数種類のガスを測定可能
  • ガラスサンプルサイズは10 mmx10mm程度、板厚は都度ご相談
  • ロードロック式のため試料交換、メンテナンス性に優れ、サンプルバンクに8個ストックして(超)高真空を破らずにサンプル交換することが可能

 

用途

・ガス種判別による気泡発生原因の究明
・製造工程の評価
・容量数値化による品質安定度の評価
・脱ガス条件の設定

 
 

モニター表示例

ガスモニタ表示

   

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