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磁気遮蔽スパッタガン   
Magnetic Shielding Sputter Gun

PDFを表示 磁場シールドを行い、同一チャンバでRHEED測定が可能
小型・低価格・お手持ちのチャンバに取付可能

  • スパッタガン 金属、絶縁体、磁性体、非磁性体と幅広いターゲットに対応可能
  • 当社の磁気遮蔽技術を用いたスパッタガンを搭載した成膜チャンバでRHEED測定が可能
  • フランジマウントになっている為お手持ちのチャンバに取付けでき、各種成膜実験を行うことが可能
  • 内部マグネットの種類変更、位置変更により、エロージョンの調整が容易

 

用途

・フィルムコーティング
・半導体デバイス
・超伝導フィルム
・MEMS

 
 

RHEED画像

・圧力: 5.8 × E-6Pa
・RHEED出力: 25Kv 2A
・基板: C-AL203
・入射方位: 10-10

RHEED画像

   

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