気孔分析装置 残留ガス分析装置 ブローホール内の超微量ガス成分測定

English     サイトマップ
    製品情報 > 理化学機器・半導体製造装置  > 気孔分析装置

気孔分析装置( 残留ガス分析装置 )  
Blow hole gas analyzer

PDFを表示ブローホール内の超微量残留ガス成分測定
各種材料評価に最適

特徴

  • 鋼材溶接部・連続鋳造材・鋳造物等に生じる気孔(ブローホール)内のガスを真空中
    にて機械的に試料より解放し、 その成分・量を四重極質量分析器(QMS)を用いて
    定性・定量分析
  • 高感度・高分解能のQMSにより、鉄・非鉄金属、ガラス等の中に存在する
    ブローホール内ガスを 容易に高感度で分析することが可能

 

 

用途

・ 材料欠陥発生原因の究明
・ 材料設計の評価
・ 表面汚染製造工程評価
・ 脱ガス条件の設定

残留ガス分析装置

 

バッチ式 分析チャンバ

バッチ式 分析チャンバ

チャンバ構造が簡便に出来ているため、試料交換、メンテナンスや洗浄性に優れている。

対象材料

金属、溶接材、ガラス真空パッケージ等

金属、溶接材、ガラス真空パッケージ等

 

モニター表示

AMUイオン電流、真空計指示値を同時表示・時系列的に保存可能。

モニター表示

 

仕様

外観  装置寸法  W1335×D1800×H1570mm
重量 約250kg
破壊機構部 チャンバ寸法/材質 Φ200×250(L)mm /SUS304
ステージ移動量 X軸:±5mm Y軸:±5mm
試料寸法 50×50×20(T)mm
ドリル径 MAXΦ3mm〜MINΦ1mm
到達真空度  E-5Pa以下
質量分析部 分子量 200AMU FC/EMセンサー
接続フランジ ICF70
コントロール Windows2000対応CD版(エクセル形式)
質量イオン測定:時間変化、連続測定
接続ケーブル RS232 4.5M
真空・排気系 真空排気系 ターボ分子ポンプ 300l/s
ドライスクロールポンプ 300l/m
真空測定 分析チャンバ 大気圧〜低真空(フルレンジ真空計)
低真空〜高真空(コールドカゾード真空計)
電源・制御 電源 3相AC200V 30A
インタロック 停電時、ドリル高負荷時

軽金属中ブローホール内のガス分析測定例

軽金属中ブローホール内のガス分析測定例

用途に合わせてカスタマイズ可能です。

↑ページのトップへ