真空機器・除振・防振の課題解決が我々の使命です!

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高周波用4軸マイクロプローバー

高周波用4軸マイクロプローバー

マイクロプローバー

  • 省スペース、薄型のチャンバ
  • プローブ本数2〜6本
  • DC・高周波プローブ( 〜20GHz)、フィードスルーの選択が可能
  • 試料ステージへ低温〜加熱機構の導入が可能
  • 高真空〜超高真空領域の対応

 

各種成膜装置

  • PLD(パルスレーザーアブレーション)装置
  • LP−CVD、MO−CVD、Cat−CVD,PECVD装置 (オーダーメイド)
  • マグネトロンスパッタリング装置 (RF・DC/2〜4インチマグネトロンガン)
  • 真空蒸着・イオンプレーティング装置
  • 自動圧力コントロール・除害設備対応オプション
  • 豊富な納入実績

PLD装置

LP−CVD装置

スパッタリング装置

複合蒸着装置

PLD装置 LP−CVD装置 スパッタリング装置 EB・抵抗加熱複合蒸着装置

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Cat-CVD装置

CVD装置納入実績

蒸着装置納入実績

Cat-CVD装置 CVD装置納入実績 蒸着装置納入実績

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MEMS関連処理装置

  • スプレーコーティング装置
  • プラズマ・アッシング装置
  • プラズマ・エッチング(RIE)装置
  • プラズマ・酸化/窒素化装置

スプレーコーティング装置

プラスマ・アッシング装置

ICP−RIE装置

スプレーコーティング装置

プラスマ・アッシング装置

ICP−RIE装置

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残留ガス分析装置

  • ブローホール内の超微量ガス成分測定
  • ガラスに含まれる泡内の超微量ガス成分測定
  • 各種材料評価に最適

気孔分析装置

ガラス泡内ガス分析装置

 

気孔分析装置 ガラス泡内ガス分析装置  

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磁気遮蔽スパッタガン

       

高出力超音波洗浄機

磁気遮蔽スパッタガン

高出力超音波洗浄機

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