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防振ダンパ VTDシリーズ
Vibration Free Damper

PDFを表示電子顕微鏡の防振装置として多大な納入実績
当社防振おもりとセットの使用でさらに効果的

特徴

  • ICF152防振ダンパ各メーカーの真空ポンプに取り付け可能。
  • 各種小口径から大口径フランジ形式に対応。(ICF・ISO・JIS・NW等)
  • 振動伝達率 1/30〜1/40に減衰。
  • 取り付け方向フリー。
  • 低価格。

用途

    ・ 放射光(ビームライン)装置間の振動遮断
    ・ 真空ポンプ(油回転ポンプ・ターボ分子ポンプ・クライオポンプ等)の振動遮断
    ・ 真空チャンバ間の振動遮断

 

性能

SEM像での比較

防振ダンパ無(20Hz、10nm振幅) 防振ダンパ有
防振ダンパ無(20Hz、10nm振幅) 防振ダンパ有

性能図

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