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非蒸発ゲッター( NEG ) ピル積層型
NEGポンプ     V-NEGシリーズ

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  • NEGピルを使用した低価格NEGポンプ
  • 加速器やVSXビームライン、表面研究装置の超高真空ポンプとして最適
  • 1.0 E-10 Pa 台まで排気可能
  • ゲッター材の蒸発・スパッターを伴わない

NEGポンプ

NEGポンプ構成

 

 

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