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納入実績装置例(エンドステーション)
真空紫外光電子分析システム

  • メインチェンバは高い磁気遮蔽特性を示すパーマロイより作製され、
    特に低エネルギー光電子分光における高エネルギー分解能に寄与
  • 超高真空中で試料作製・搬送・分析が可能

装置全体

装置全体

 

静電半球アナライザー 高分解能XYZΘステージ
MBS A-1 アナライザ 高分解能XYZΘステージ
   
サンプル劈開装置 背面LEED/オージェ
試料劈開器 LEED-AES 光学系
   
サンプル加熱/冷却機構 ミューメタルサンプルチャンバ
試料加熱/冷却ユニット ミューメタル分析槽

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