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納入実績装置例(エンドステーション)
真空紫外光電子分析システム

  • サンプルチャンバ材料には磁気遮蔽の高いパーマロイ使用(高分解能)
  • 試料作製から大気に曝すことなく搬送・測定評価が可能

装置全体

装置全体

 

静電半球アナライザー 高分解能XYZΘステージ
静電半球アナライザー 高分解能XYZΘステージ
   
サンプル劈開装置 背面LEED/オージェ
サンプル劈開装置 背面LEED/オージェ
   
サンプル加熱/冷却機構 ミューメタルサンプルチャンバ
サンプル加熱/冷却機構 ミューメタルサンプルチャンバ

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