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納入実績装置例(エンドステーション)
コヒーレント散乱分光用チャンバ

  • 超高真空を維持した状態で傾斜動作可能
  • 回転時の真空劣化無
  • 高分解能・ノンバックラッシュ
  • 防振機構を備え、ポンプなどの外乱振動を減衰

装置全体

装置全体

 

回転軸/モータ部

回転軸/モータ部

 

防振機構

防振機構

 

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