真空機器・除振・防振の課題解決が我々の使命です!

サイトマップ
    製品情報 > ビームライン関連 > 回折スペックルチャンバ

納入実績装置例(エンドステーション)
回折スペックルチャンバ

  • 2重チャンバ構造により超高真空を維持した状態で回転/停止が可能
  • φ550×500Hmmの大口径チャンバ
  • 防振機構を備え、ポンプなどの外乱振動を減衰

装置全体

装置全体

 

2重回転チャンバ

2重回転チャンバ

 

防振機構

防振機構

 

↑ページのトップへ