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加速器・ビームライン関連    
納入実績   ダウンロード
納入実績-ビームライン 集光照射装置・ビームコリメータ  
納入実績-エンドステーション 真空紫外光電子分析システム  
  回折スペックルチャンバ、コヒーレント散乱分光用チャンバ  
  その他  
NEGポンプ V-NEGシリーズ ダウンロード
メカニカルハンド VMACH-30 ダウンロード
理化学機器・半導体製造装置    
マイクロプローバー   ダウンロード
スプレーコーティング装置   ダウンロード
各種成膜装置 PLD装置 ダウンロード
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  納入実績  
磁気遮蔽スパッタガン   ダウンロード
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ガラス泡内ガス分析装置   ダウンロード
高出力超音波洗浄機(自由設計槽)   ダウンロード
真空機器及び超高真空容器    
真空チャンバ 特徴 ダウンロード
  装置製作例  
ミューメタルチャンバ(高透磁率材料)   ダウンロード
TiNコーティング   ダウンロード
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真空熱処理炉 ウエハーアニール炉、真空熱処理(受託サービス) ダウンロード
  真空熱処理炉、オイルフリー真空熱処理炉  
真空部品    
超高真空用各種装置部品 アングルバルブ VAVBシリーズ ダウンロード
  高真空対応ゲートバルブ Gシリーズ ダウンロード
  回転導入機 VRIシリーズ、トランスファーロッド VTFRシリーズ ダウンロード
  直線導入機 VSIシリーズ  
  簡易XYZステージ ICF70XYZ、真空用各種導入端子 ダウンロード
真空用関連部品 NW関連1 ダウンロード
  NW関連2  
  ICF関連1  
  ICF関連2  
  各種変換  
精密位置決め    
真空位置決めステージ   ダウンロード
  概略仕様  
ステッピングモータコントローラ  Vcomシリーズ ダウンロード
除振・防振・防音    
低固有振動数除振台  BM-1 BM-4 ダウンロード
メカニカルベンチトップ除振台  BM-6 BM-8 BM-10 ダウンロード
低固有振動数除振台用架台   ダウンロード
除振台付防音ボックス   ダウンロード
防振ゴム式除振台  ROVシリーズ ダウンロード
三次元空気ばね式除振台  OVIシリーズ ダウンロード
石定盤三次元空気ばね式除振台  VSシリーズ ダウンロード
三次元空気ばね式テーブル除振台  VITシリーズ ダウンロード
卓上型三次元空気ばね式除振台  VAX/VMXシリーズ ダウンロード
卓上ハニカム型空気ばね式除振台  H-VAX/H-VMXシリーズ ダウンロード
スチールハニカム定盤  VBシリーズ ダウンロード
薄型スチールハニカム定盤  VBCシリーズ ダウンロード
防振おもり  VTシリーズ ダウンロード
防振ダンパ  VTDシリーズ ダウンロード
振動コンサルティング   ダウンロード
要素技術    
ハードウエア・ソフトウエア設計   ダウンロード
3Dマイクロメータリフト VML-001   ダウンロード
新製品    
太陽光励起伝導キャリア分光装置 VPS-2000  ダウンロード
触媒化学気層堆積装置(Cat-CVD) CAT-100  ダウンロード

 

 

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